分光計器では会社設立の1977年から瀬谷波岡型分光器を主体とした様々な真空紫外分光システムを製作してきました。
新たに開発したKVシリーズは特殊光学素子と新開発の光学配置の分光器により、真空ポンプなどが不要となり、窒素ガスのパージだけで120nmまで測定が出来るシステムです。
真空紫外測定装置 測定例
食品包装フィルムの透過率測定例
厚さ10μｍ程のフィルムを測定しました。
ポリマーなどの薄いサンプルも容易に測定できます。
汎用の可視紫外分光光度計では測定が困難な紫外領域から真空紫外領域まで連続して測定ができます。
Green：ポリエチレン
Pink：ポリ塩化ビニル
Blue：ポリ塩化ビニリデン
フッ化カルシウム（CaF2）の透過率測定例
光学結晶やレジストの評価に使用するフッ化カルシウム（CaF2）を測定しました。
F2レーザやArFレーザの波長領域を再現性良く測定できています
空気（O2）の高分解測定例
空気を分解0.1nmで測定しました。
空気に含まれる酸素のSchumann-Runge吸収帯にある細かい構造もはっきりと測定できています。
光路長 100mm
厚みのある合成石英（SiO2）の測定例
厚みが１ｍｍと40mmの合成石英（SiO2）を測定しました。厚みの違いによる透過率の違いが弊社独自の光学系により正確に測定できています。
Green：合成石英 （t =40mm)
Blue：合成石英 （t =10mm)
