KV-202GDD真空紫外分光照射システム

KV-202GDD

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KV-202GDD　真空紫外分光照射システム（低迷光タイプ）

真空紫外域から紫外域（波長120～400nm）の単色光照射が可能なシステムです。

UPSやXPSなどの装置に接続し、サンプルに真空紫外光を照射する事が可能です。

低迷光を重視した零分散ダブルモノクロメータを採用し、各波長毎の照射光量を確保するため、複数の回折格子をラインナップし、高効率な単色光照射が可能です。

カタログ（PDF）

真空紫外域から紫外域（波長120～300nm)を1nm間隔で測定した光量データです。一般的な照射装置では不可能な波長200nm以下（120～200nm)も強力な単色光照射が出来ている事がわかります。

①H2D2光源

②光源集光光学系

③分光器部

④照射光学系

⑤ICF114-NW50変換フランジ

⑥MgF2ビューポート（ICF114)

⑦全体架台

光源	高輝度・高性能重水素ランプ（H2D2ランプ）
光学系式	零分散ダブル　収差補正クロス型ツェルニターナ配置
焦点距離	200mm
口径比	F=5.8
回折格子	1200本/150nmブレーズ（MgF2コート）2式　交換可能構造
光学的波長範囲	120～400nm
機械的波長範囲	0～650nm
分解能	0.2nm(半値幅）
波長走査方式	サインバー機構・波長リニア走査
波長精度	±0.2nm（長波長側より設定）
波長表示	カウンタ表示　最小1nm、最小目盛0.2nm
波長再現性	±0.2nm（長波長側より設定）
照射光の大きさ	1×1mm
照射角度	20°
照射焦点距離	203mm（窓フランジ部より）
チャンバ接続窓	ICF114　MgF2ビューポートフランジ
総合コントローラ	波長駆動（波長リニア）・フィルタ切換・GP-IB外部制御可能

●高輝度・高性能重水素ランプ（H2D2ランプ）

●重水素ランプ電源

●重水素ランプ用ホルダ

●光源集光系

●零分散ダブル真空紫外域分光器

●回折格子1200本/150nmブレーズ（MgF2コートタイプ）2枚

●各種高次光カットフィルタ及びシャッタ

●折返し光学ユニット

●照射光学系

●チャンバ接続部

●ICF114　MgF2ビューポートフランジ

●総合コントローラ（波長駆動・フィルタ切換）

●全体架台

●光量モニター検知器
●各種回折格子

●各種高次光カットフィルタ
●各種照射光学系【ご希望の照射角度・照射距離・接続フランジに対応】

●本体：約W660×D460×H500mm＊突起部を除く

●電源：AC100V　2A

●窒素：純度99.999%以上を推奨　

　　　　導入圧力：0.2MPa(2Kgf/cm²）

　　　　窒素IN継手：Swegelok1/4　1箇所

　　　　窒素OUT継手：Swegelok3/8　1箇所