IUV-25CPフォトレジスト用分光照射ユニット

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IUV-25CP 　フォトレジスト用分光照射ユニット

フォトレジスト剤など感光材料に波長幅（約240nm）をもった単色光を任意時間する分光装置です。
光源には、強力なラインスペクトル光が照射可能なDeepUVランプと連続スペクトル光が照射可能なXeランプの2種類を標準搭載しています。
自動ステージ上で試料がステップ移動し、照射時間を変えながら、照射出来ます。

カタログ（PDF）

特長

フォトレジスト材など感光性材料に波長幅約２４０ｎｍを持った連続光を任意時間照射することができます。

光源　：　Ｘｅランプ　ＤｅｅｐＵＶランプ

照射波長範囲　：　２３０～８００ｎｍ

照射光面積　：　８０×５ｍｍ

照射イメージ	ホルダ（2種類）

ソフトウェア

開始（条件）…照射時間の最初の秒数を入力します（0.01～1200）
終了…照射時間の最後の秒数を入力します（0.01～1200）
分割数…開始から終了の間を分割する数値を入力します（2～13）
分割方法…LinearもしくはLogから選択します
計算…照射条件画面を閉じ、メインメニューに戻ります
閉じる･･･照射条件画面を閉じ、メインメニューに戻ります
手動…シャッタ状態、ステージ位置を任意に設定します
開始（全体）･･･設定された条件で照射を開始します

仕様

照射波長範囲	一度に照射できる波長幅　約240nm
光照射面積	長距離移動型　高さ方向：89mm（5×13段、照射帯間スペース2mm）
	波長方向：約80mm(約240nm）
照射時間	0.01～1200sec
設定最小時間	0.01sec
照射段数	1～13段
照射分割方向	Linear / logから選択
光源	DeepUVランプ500W・Xeランプ500W
光源切換	ミラーによる手動切換
試料ホルダ	□100mm、□127mmガラス板用（交換式）

標準構成

●DeepUVランプ500W
●DeepUVランプホルダ（空冷式）
●DeepUVランプ電源
●Xeランプ500W
●Xeランプホルダ（空冷式）
●Xeランプ電源
●光源集光光学系（2光路手動切換）
●シャッタ自動機構
●M25-CP　モノクロメータ（上部取り出しタイプ）
●回折格子1200本/300nmブレーズ（MgF2コート）
●試料室（自動ステージ）
●試料ホルダ□100mmガラス用
●試料ホルダ□127mmガラス用
●基準検知器（検定書付シリコンフォトダイオード）
●基準検知器信号用電流計（エレクトロメーター）
●ステージコントローラ
●シャッタコントローラ
●ノートPC
●専用ソフトウェア
●取扱説明書