半導体材料評価装置
さまざまな測定法を用い、半導体材料の評価を行う装置をラインナップしております。
ＢＩＰ－ＫＶ１００ イオン化エネルギー測定装置（９．５４～４．０ｅＶ 卓上型タイプ）
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光電子収量分光法（ＰＹＳ法） 単色光を試料に照射し、そこから放出される光電子の収量を電流として測定し、励起単色光の波長を掃引して光電子の収量の変化からイオン化エネルギーを検出します。 |
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試料雰囲気を大気、窒素、真空下でイオン化エネルギー（仕事関数）を測定する装置です。
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分光器および光学系を窒素パージタイプにすることで、最大９．５４ｅＶ迄の真空紫外光を試料に照射することが出来ます。
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コンパクトな卓上型になりました。
ＢＩＰ－ＫＶ２０１ イオン化エネルギー測定装置（９．５４～４．０ｅＶ 床置き架台タイプ）
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| 測定法 |
光電子収量分光法（ＰＹＳ法） 単色光を試料に照射し、そこから放出される光電子の収量を電流として測定し、励起単色光の波長を掃引して光電子の収量の変化からイオン化エネルギーを検出します。 |
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試料雰囲気を大気、窒素、真空下でイオン化エネルギー（仕事関数）を測定する装置です。
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分光器および光学系を窒素パージタイプにすることで、最大９．５４ｅＶ迄の真空紫外光を試料に照射することが出来ます。
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オプションでグローブBOXを追加する事が可能です。
ＢＩＰ－Ｍ２５ イオン化エネルギー測定装置（６．２～３．１ｅＶ 床置き架台タイプ）
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| 測定法 |
光電子収量分光法（ＰＹＳ法） 単色光を試料に照射し、そこから放出される光電子の収量を電流として測定し、励起単色光の波長を掃引して光電子の収量の変化からイオン化エネルギーを検出します。 |
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試料雰囲気を大気、窒素、真空下でイオン化エネルギー（仕事関数）を測定する装置です。
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測定領域を６．２～３．１ｅＶに限定することで、低価格を実現しました。
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微小電流計を使用し、高感度を実現しました。
ＬＢＣ－２ レーザー光誘起電流測定装置
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レーザー光を太陽電池などの試料に照射し、ＸＹステージで移動させることで光電流マッピングを行う装置です。
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ペロブスカイト太陽電池の均一性評価に最適です。
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５２０ｎｍレーザーを搭載し、空間分解能約１０μmを達成し、最大５０×５０ｍｍのサンプルまで測定可能です。
BIP-FETS FET測定装置
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電界効果トランジスタの特性を評価する装置です。
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測定したデータから、移動度、しきい値電圧を算出することが出来ます。
ＣＭＭ－２５０ キャリア移動度測定装置
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| 測定法 |
タイムオブフライト法（ＴＯＦ法） 有機EL材料や有機太陽電池材料などの試料にレーザ光を照射し、発生したキャリアが薄膜内をドリフトする移動度等を高速に測定します。 |
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薄膜評価における電子やホールの移動度を測定出来ます。
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時間分解１０ｎ秒を達成。
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１０－７～１０－３ｃｍ２／Ｖ．ｓｅｃの移動度測定が行えます。
ＳＧＡ-25 サブギャップ光吸収スペクトル測定システム
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| 測定法 |
一定光電流法（ＣＰＭ法） 単色光をサンプルに照射し、その光電流が各波長で一定になるように光量コントロールし、照射光量値より吸収係数を演算で求めます。 |
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半導体薄膜や各種光伝導材料のバンドギャップ構造を解析できます。
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吸収係数測定範囲は６桁とダイナミックレンジが広いです。
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リアルタイムで光量を制御していますので、測定再現性に優れています。
